Die technische Oberfläche ist der Ausgangspunkt der mechanischen, physikalischen oder chemischen Wechselwirkungen eines Bauteils mit seiner Umwelt. Daraus ergeben sich spezifische Anforderungen an Bauteiloberflächen. Die Modifikation der Oberfläche durch das gezielte Erzeugen von Schichtsystemen ist daher ein wichtiger Bestandteil der industriellen Prozesstechnik. Hierzu zählen zum Beispiel die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen für unterschiedlichste Anwendungen. Diese können aus metallischen, keramischen oder polymerorganischen Werkstoffen bestehen. Die Schicht- und Oberflächentechnik besitzt somit eine erhebliche Bedeutung und ist eine der wichtigsten Schlüsseltechnologien für zukünftige Innovationen.

Zur Herstellung von Schichtsystemen gibt es zahlreiche unterschiedliche und variantenreiche Beschichtungsverfahren. Diese Verfahren und deren Anlagen sind komplexe technische Systeme, die eine Vielzahl von physikalischen Prozessen, chemischen Reaktionen und technologischen Abläufen umfassen.

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